PRO Line PVD 75 薄膜沉積系統(tǒng)

PRO Line PVD 75™ 是基于PVD75經(jīng)典款開(kāi)發(fā)的新一代薄膜沉積系統(tǒng)。保有量超過(guò)400臺(tái)，PVD75™經(jīng)典款是歷經(jīng)實(shí)踐驗(yàn)證的技術(shù)成熟、性能穩(wěn)定、多功能設(shè)計(jì)的薄膜沉積系統(tǒng)。PRO Line PVD 75™ 在PVD75經(jīng)典款基礎(chǔ)上進(jìn)一步提高系統(tǒng)的本底真空并縮短系統(tǒng)的抽空時(shí)間。對(duì)工藝腔室進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)，工業(yè)化設(shè)計(jì)的控制系統(tǒng)具有的編程功能、基片自動(dòng)加載功能。

┃ 設(shè)備應(yīng)用

• 專(zhuān)為大學(xué)、工業(yè)和政府國(guó)家實(shí)驗(yàn)室等研發(fā)領(lǐng)域設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)的薄膜沉積系統(tǒng)

• 可用于OLED/PLED和有機(jī)電子學(xué)

• 光伏和半導(dǎo)體應(yīng)用光學(xué)和裝飾鍍膜應(yīng)用小批量生產(chǎn)

┃ 設(shè)備特點(diǎn)

• 機(jī)柜及機(jī)架采用封閉式設(shè)計(jì)

• 304方箱式不銹鋼腔室，安裝有鋁門(mén)和大視角觀察窗

• 通過(guò)觸摸屏手動(dòng)或程序控制，全自動(dòng)計(jì)算機(jī)控制

• 可選擇渦輪分子泵或高真空低溫泵

┃ 工藝模塊

• 磁控濺射: 射頻、直流或脈沖直流濺射

• 電子束蒸發(fā)熱阻蒸發(fā)

• 有機(jī)材料蒸發(fā)

• 離子源襯底清潔或輔助沉