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臺式原子層沉積助力Lam Research--實現(xiàn)區(qū)域選擇性原子層沉積（AS-ALD）
2026-04-21 隨著先進半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展對自對準和“自下而上”精準制造的需求愈發(fā)迫切,區(qū)域選擇性原子層沉積(AS-ALD)技術(shù)憑借獨特優(yōu)勢，受到廣泛關(guān)注。2025年6月25日,在濟州島的國際ALD/ALE會議上，LamResearch的工程師Rachel.NyedeCastro做了區(qū)域選擇性沉積（ASD）的報告。報告主要圍繞在金屬基體上選擇性沉積電解質(zhì)圖案，實現(xiàn)從試點生產(chǎn)（小的測試片）到規(guī)?；木A沉積。RachelNye的報告中顯示，Lam公司試點生產(chǎn)線的前期啟動實驗采用了AnricTec...探索熱蒸發(fā)鍍碳儀的工作原理與技術(shù)參數(shù)
2026-03-20 熱蒸發(fā)鍍碳儀是掃描電子顯微鏡樣品制備中的一種基礎(chǔ)且關(guān)鍵的設(shè)備，其核心功能是在非導(dǎo)電樣品表面沉積一層極薄、均勻的導(dǎo)電碳膜，以消除其在SEM觀察中的荷電效應(yīng)，從而獲得清晰、真實的顯微圖像。盡管原理看似簡單，但要獲得理想的鍍層，其背后涉及一套精密的物理過程與對多個關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)的精準控制。深入理解其工作原理與核心參數(shù)，是掌握該技術(shù)、制備高質(zhì)量SEM樣品的關(guān)鍵。熱蒸發(fā)鍍碳的工作原理基于真空中的電阻加熱蒸發(fā)。儀器工作時，首先由機械泵和分子泵組成的真空系統(tǒng)將鐘罩內(nèi)的氣壓抽至較低水平。高真空...行星球磨儀的安全操作規(guī)范：過載保護、緊急停機與日常維護
2026-02-09 行星球磨儀是樣品粉碎和機械合金化的重要設(shè)備，其高速旋轉(zhuǎn)的研磨罐和磨球具有潛在危險，安全操作規(guī)范至關(guān)重要。行星球磨儀通過公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)的復(fù)合運動，使磨球?qū)悠樊a(chǎn)生高能沖擊和研磨作用。安全操作規(guī)范是使用行星球磨儀的基礎(chǔ)。操作前需檢查設(shè)備是否完好，防護罩是否關(guān)閉牢固，緊固螺栓是否松動。裝樣時需確保研磨罐對稱放置，重量平衡，避免運行時產(chǎn)生劇烈振動。設(shè)置轉(zhuǎn)速時需從低速開始逐步升高，觀察運行是否平穩(wěn)。運行過程中嚴禁打開防護罩或觸摸旋轉(zhuǎn)部件。操作人員需佩戴防護眼鏡，防止樣品飛濺。對于易燃易爆樣...顯微成像橢偏儀：結(jié)合了橢偏技術(shù)與光學(xué)顯微成像技術(shù)的高精度儀器
2026-01-26 顯微成像橢偏儀是一種將橢偏技術(shù)與光學(xué)顯微成像結(jié)合的精密儀器，主要用于在微米尺度上無損測量薄膜的厚度、折射率等光學(xué)參數(shù)，并能實時可視化樣品表面的形貌分布。它適合分析微結(jié)構(gòu)樣品，比如集成電路、傳感器或二維材料，具有亞納米級的厚度分辨率和微米級的橫向分辨率。顯微成像橢偏儀基于橢圓偏振原理，通過分析入射偏振光經(jīng)樣品反射或透射后的偏振態(tài)變化，結(jié)合光學(xué)顯微成像技術(shù)，獲取樣品表面的三維形貌分布及薄膜厚度、折射率等光學(xué)參數(shù)。具體過程如下：光源與偏振控制：光源發(fā)出的光經(jīng)起偏器變?yōu)榫€偏振光，再通...關(guān)注公眾號
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